光学式検査装置

フォトマスク検査装置

Mask Viewシリーズは、プリント基板や半導体パッケージ基板、LED Wafer向けのフォトマスク検査装置です。

・ガラスフォトマスクおよびフィルムフォトマスクに対応

・最小欠陥検出サイズ1μmの高精度検査

・導通・短絡、基板表面の凸凹、ピンホール・ランドの欠陥を検出

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