光学式検査装置

3D形状測定装置

本装置は、白色干渉方式により材料表面形状をナノレベルで測定する装置です。

・基板やFPD、半導体などの表面粗さや高さ、厚み等の測定が可能
・高速かつナノレベルの分解能で高精度測定が可能
・操作性に優れ、使いやすい解析画面が特徴

nvr-e2000