光学式検査装置

サブストレートバンプ検査装置

RSHシリーズは、半導体パッケージ基板上のバンプ高さと外観を同時検査可能な光学検査装置です。

・マイクロバンプ、ラウンド・コインドバンプ、Cu Pillarバンプ、反り検査に対応
・CSP Stripタイプにも対応可能
・ワークサイズ:CSP Strip対応
 Wide 50-100mm、Length 200-250mm

rsh_series