半導体パッケージ検査装置

GATS-6310

ファインピッチかつ極薄のFC-CSP基板の検査に最適な高速高精度対応の次世代型検査装置です。

・総合アライメント精度±5.0μm、0.6秒/ピースの超高速検査を実現
・小型軽量のFLEX型治具を採用
・最大ワークサイズ
 W250mm×D150mm(検査エリア:W240mm×D140mm)

GATS-6310