半導体パッケージ検査装置

GATS-7850

250mm角パネルサイズのFC-BGA基板の導通・短絡(絶縁)検査向けに開発した次世代検査装置です。

・繰り返し位置決め精度は±2.5um、総合位置決め精度は±5.0umを実現
・コアレス基板などの基板の反りやたわみにも対応可能
・ワークサイズ
 W250mm×D250mm

GATS-7850