기판 검사 지그
검사 소프트웨어

MEMS 지그

독자 개발한 MEMS 프로브 기술을 이용한 일체형 스프링 프로브로서, Ultra fine pitch의 기판에 대해 안정적인 프로빙을 실현하였습니다.

·독자적인 구조로 fine기판에서도 안정적인 탐지를 실현

·90μm 피치, 4단자 검사에도 대응

·검사 대상에 맞춘 프로브 첨단 형상을 준비

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