광학식 검사 장비

포토마스크 검사 장비

MaskView 시리즈는 프린트 기판이나 반도체 패키지 기판, LED Wafer용의 포토마스크 검사 장비입니다.

·유리 포토마스크 및 필름 포토마스크에 대응

·최소 결함 검출 사이즈 1μm의 고정밀도 검사

·도통·단락, 기판 표면의 요철, 핀 홀·랜드의 결함을 검출

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