광학식 검사 장비

3D 형상 측정 장비

본 장비는 백색 간섭 방식으로 재료의 표면 형상을 나노 레벨로 측정하는 장치입니다.

·기판이나 FPD, 반도체 등의 표면 거칠기와 높이, 두께 등의 측정이 가능

·고속의 나노 레벨 제어로 고정밀도 측정이 가능

·조작성이 뛰어나며 사용하기 쉬운 해석 화면이 특징

nvr-e2000