반도체 패키지 기판 검사 장비

GATS-6310

fine pitch의 박판 FC-CSP 기판의 검사에 최적인 고속·고정밀도 대응용 차세대형 검사 장비입니다.

·종합 얼라인먼트 정밀도 ±5.0μm, 0.6초/피스의 초고속 검사를 실현

·소형 경량의 FLEX형 지그를 채택

·최대 제품 사이즈
W250mm×D150mm (검사 영역: W240mm×D140mm)

GATS-6310