반도체 패키지 기판 검사 장비

GATS-7850

가로세로 250mm 패널 사이즈의 FC-BGA 기판의 도통·절연 검사용으로 개발된 차세대 검사 장비입니다.

·반복 위치결정 정밀도는 ±2.5μm, 종합 위치결정 정밀도는 ±5.0μm을 실현

·코어리스 기판 등의 기판 휨 현상이나 변형에도 대응 가능

·제품 사이즈
W250mm×D250mm

GATS-7850