光学式检测装置

光掩膜检测装置

MaskView系列是针对使用在印刷电路板及半导体封装电路板、LEDWafer上的光掩膜进行检测的装置。

- 对应玻璃光掩膜及胶膜光掩膜

- 可检测出最小1μm尺寸的缺陷

- 可检测出通电/绝缘、电路板表面凹凸、针孔及焊垫的缺陷

mask_view_series