光学式检测装置

3D形状测定装置

该装置是以白光干涉法对纳米级材料表面形状进行测定。

- 可对电路板及FPD、半导体等表面粗糙程度、高度以及厚度等进行测定

- 以高速及纳米级的分辨率实现高精度测定

- 具有优秀的操控性及使用简单的辨析画面

nvr-e2000