MEMSスプリングプローブ

LSI検査用スプリングプローブ

マイクロプロセッサやアプリケーションプロセッサ等の半導体ウェハ検査に最適なMEMSスプリングプローブです。

・検査ピッチ90umに対応可能
・独自構造により低抵抗・低インダクタンスを実現

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